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第1章X射线光电子能谱理论篇

1.1X射线光电子能谱基本原理

1.2XPS全谱信息与精细谱化学态识别

1.2.1XPS全谱信息

1.2.2XPS精细谱化学态识别

1.2.3结合能位移与化学态

1.3XPS系统硬件构成

1.4XPS主能

1.5XPS主要技术特点

1.5.1各种分析技术的分辨率和灵敏度

1.5.2几种表面分析技术的对比

1.5.3XPS分析技术探测信息深度

1.6XPS的主要应用

1.7XPS样品制备与要求

1.7.1XPS样品准备装

1.7.2XPS样品托的选择

1.7.3XPS样品制备与固定

1.7.4样品传送管保样

禁2素;X射线光电子能谓戴拐分析基细篇

2.1xP9的主要数据形式

2.1.1标准的xP9图谱

2.1.2xPS的平定量分析

2.1.3;微区分析（多点分析和微区成像）

2.1.4微区化学态成像

2.1.5深度剖析

2.2认识谱图和谱峰识别

2.2.1谱峰标注

2.2.2光电子谱峰中的非弹背底

2.2.3自旋-轨道分裂峰

2.2.4不同元素的光电子与电离截面的关系

2.2.5震激峰/震离峰

2.2.6多重分裂峰

2.2.7能量损失谱峰

2.2.8XPS图谱中的俄歇激发

2.2.9价带谱

2.2.10X射线卫星峰和“鬼峰”

2.3XPS图谱的定和半定量分析

典型XPS图谱数据

2.3.1

2.3.2XPS全谱和精细谱的意义

2.3.3全谱定和定量分析

2.3.4精细谱定和定量分析

2.3.5XPS半定量分析注意事项

2.4XPS数据处理(精细谱分峰拟合）通用原则

2.4.1XPS谱峰荷电校正方法

2.4.2XPS谱峰平滑

2.4.3XPS谱峰背底扣除

2.4.4XPS谱峰拟合数学函数模式选择

2.4.5;XPS单峰拟合

2.4.6双峰中自旋-轨道分裂峰的分析方法…

2.4.7重合谱峰的拟合方法

2.4.8多重分裂谱峰的分峰方法

2.4.9俄歌图谱和俄歇参数判断化学态

2.4.10常见XPS数据分析错误案例

2.4.11XPS数据分析流结

2.5数据库和网站资源介绍

2.6XPS相关标准和规范

第3章X射线光电子能谱数据分析软件篇

3.1数据分析软件简介

3.2不同数据文件格式

3.3;MultiPak软件基本介绍

3.3.1MultiPak软件界面介绍

3.3.2数据文件格式类型

3.4MultiPak数据分析处理流程和操作步骤

3.4.1定分析

3.4.2定量分析

3.4.3化学态分析

3.4.4深度剖析

3.4.5变角分析

3.4.6图像（Mapping）分析

3.4.7线扫描分析

3.4.8报告制作

3.5;MultiPak实操案例…

3.5.1常规表面分析案例

3.5.2深度剖析实操案例

第4章X射线光电子能谱数据分析实战篇

4.1锂（Li）

4.2铍（Be）

4.3硼（B）

4.4碳（C）

4.5氮（N）

4.6氧（0）

4.7氟（F）

4.8;钠（Na)

4.9;镁（Mg）

4.10铝（A1）

4.11硅（S1）

4.12磷（P）

4.13硫（S）

4.14氯（Cl）

4.15氩（Ar）

4.16钾（K）

4.17钙（Ca)

4.18钪（Se)

4.19钛（Ti）

4.钒（V）

4.21铬（Cr)

4.22锰（Mn）

4.23铁（Fe)

4.24钴（Co）

4.25镍（Ni）

4.26铜（Cu）

4.;27锌（Zn）

4.28镓(Ga)

4.;29锗（Ge)

4.;30砷（As)

4.31硒（Se)

4.;32溴（Br）

4.;33铷(Rb）

4.;34锶（Sr）

4.;35钇（Y）

4.;36锆（Zr）

4.;37铌（Nb）

4.;38钼（Mo）

4.;39钌(Ru)

4.;40铑（Rh）

4.41钯（Pd)

4.;42银（Ag）

4.43镉（Cd）

4.44钢（In）

4.45锡（Sn）

4.46锑（Sb）

4.47碲（Te)

4.48碘（I）

4.;49铯（Cs）

4.50钡（Ba)

4.51镧（La）

4.52铈（Ce)

4.;53钕(Nd)

4.;54铕(Eu）

4.55钆(Gd)

4.;56铪(Hf)

4.57钽（Ta)

4.58钨(W）

4.59铼（Re)

4.60铱(Ir）

4.61铂（Pt）

4.62金(Au)

4.63汞（Hg）

4.64铊（T1）

4.65铅（Pb）

4.66铋（Bi)

4.;67铀(U)

参考文献

附录

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